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壓縮機執(zhí)行元件控制元件真空發(fā)生器調質元件輔助元件真空吸盤搬運元件

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FRL (安裝支架類)

安裝器具類模塊連接塊8-15系列

●空氣調質系列150型連接塊

種類	系列尺寸	配管連接口徑
連接塊	150系列	Rc1/8.Rc1/4

安裝器具類模塊連接塊8-20系列

●空氣調質系列150型和300型連接塊

種類	系列尺寸	配管連接口徑
連接塊	150.300系列	Rc1/8～Rc3/8

安裝器具類模塊連接塊8-30系列

●空氣調質系列300型連接塊

種類	系列尺寸	配管連接口徑
連接塊	300系列	Rc1/4.Rc3/8

安裝器具類模塊連接塊8-40系列

●空氣調質系列300型和600型連接塊

種類	系列尺寸	配管連接口徑
連接塊	300.600系列	Rc1/4～Rc1/2

安裝器具類模塊連接塊8-60系列

●空氣調質系列600型連接塊

種類	系列尺寸	配管連接口徑
連接塊	600系列	Rc1/4～Rc1/2

安裝器具類模塊連接塊8-65系列

●大型FRL系列600型連接塊

種類	系列尺寸	配管連接口徑
連接塊	650系列	Rc3/4.Rc1

安裝器具類模塊連接塊8-90系列

●大型FRL系列900型連接塊

種類	系列尺寸	配管連接口徑
連接塊	900系列	Rc3/4.Rc1

安裝器具類托架8-15A系列

●調壓過濾器FR150用固定支架

種類	系列尺寸	型號例
支架	150系列	FR150.L150

安裝器具類托架8-30A系列

●調壓過濾器FR300、過濾器F300、給油器L300用固定支架

種類	系列尺寸	型號例
支架	300系列	F300.L300

安裝器具類托架8-60A系列

●過濾器F300、給油器L600、調壓器R600用固定支架

種類	系列尺寸	型號例
支架	600系列	F600.L600

安裝器具類托架8-65A系列

●調壓過濾器FR600、調壓器R600用固定支架

種類	系列尺寸	型號例
支架	650系列	FN650.LN650

安裝器具類托架8-80A系列

●精密過濾器MF800、MF1000、超精密過濾器MMF600、MMF800等所用固定支架

種類	系列尺寸	型號例
支架	600.800. 1000系列	MF800.MMF600 MF1000

安裝器具類托架8-90A系列

●過濾器FN900、給油器LN900用固定支架

種類	系列尺寸	型號例
支架	900系列	FN900.LN900

FRL (終端過濾器(精密過濾･減圧閥))

在線過濾器PLF系列

●采用多孔中空絲膜濾芯，保證了同樣情況下平膜小芯10倍以上的接觸面積。
●過濾精度高、小型流量大、壽命長
●是適合于IC制造裝置等吹氣式終端過濾器

過濾精度	處理空氣量	配管連接口徑
0.01μm	50～100 l/min	M5.Rc1/8

凈化管路過濾器CLF系列

●濾芯是PTFE制膜和PTFE制不織布構成的雙重構造確保了本產品的安定的性能。可以100%地捕捉0.01μm的微粒子
●使用的部件在無塵清潔室里進行了精密清洗。附著的微粒子極少，能立即投入使用。

過濾精度	處理空氣量	配管連接口徑
0.01μm	100 l/min	Rc1/8.Rc1/4

不銹鋼調壓閥RS系列

最適合于液晶、半導體相關工序中的各種溶劑、純水線路中傳送氣體的壓力控制、噴氣壓力控制，潔凈空氣、氣體壓力控制等，需要耐腐蝕性的食品相關、無油脂、無潤滑油的生產線。

壓力設定 MPa	處理空氣量	配管連接口徑
0.05～0.7	0～ 800 l/min	M5～Rc1/4

精密不銹鋼調壓閥PRS系列

液晶、半導體相關工序中的各種溶劑、純水線路中傳送氣體的壓力控制、噴氣壓力控制，潔凈空氣、氣體壓力控制等的高精度設定（感度0.001MPa）。

壓力設定 MPa	處理空氣量	配管連接口徑
0.01～0.25	0～ 250 l/min	M5～Rc1/4

FRL (使用端用FRL)

空氣調質組合 FRL組合C系列

●集中了使用線路上質量調節(jié)所需要的各種機能
●空氣過濾閥、調壓閥、給油器的組合件

構成	處理空氣量	配管連接口徑
FRL	100～2000 l/min	Rc1/8～Rc1/2

空氣調質組合過濾調壓閥FR系列

過濾精度壓力設定	處理空氣量	配管連接口徑
5μm 0.05～ 0.83MPa	100～3000 l/min	Rc1/8～Rc1/2

空氣調質組合空氣過濾器F系列

過濾精度	處理空氣量	配管連接口徑
5μm	100～3000 l/min	Rc1/8～Rc1/2

空氣調質組合精密過濾器MF系列

過濾精度	處理空氣量	配管連接口徑
0.3μm	300～1500 l/min	Rc1/4～Rc1/2

空氣調質組合超精密過濾器MMF系列

過濾精度	處理空氣量	配管連接口徑
0.01μm	150～750 l/min	Rc1/4～Rc1/2

空氣調質組合調壓閥R系列

壓力設定 MPa	處理空氣量	配管連接口徑
0.05～0.83	100～ 3000 l/min	Rc1/8～Rc1/2

空氣調質組合精密調壓閥PR系列

壓力設定 MPa	處理空氣量	配管連接口徑
0.005～0.5	20～ 300 l/min	Rc1/8～Rc1/4

空氣調質組合溢流式調壓閥HR系列

●即使出通一側的有很大的壓力變化時仍可以迅速響應
●采用了空氣先導形式

壓力設定 MPa	處理空氣量	配管連接口徑
0.05～0.7	0～ 3000 l/min	Rc1/8～Rc1/2

電-空調壓閥ETR系列

●收到電信號可靈活地控制氣壓
●產品的主體部分采用了P.W.M.控制提升閥結構、無泄漏，只需要簡單的空氣質量管理，有很長的壽命和很高的信賴度。

壓力設定 MPa	處理空氣量	配管連接口徑
0.005～0.7	0～ 3000 l/min	Rc1/8～Rc1/2

空氣調質組合匯流板式調壓閥MR系列

●設置在一處就可以對復數以上的線路進行供給壓力的調整和確認
●新加入了溢流調壓型，更能自由對應各種需求

壓力設定 MPa	處理空氣量	配管連接口徑
0.05～0.7	0～ 1000 l/min	Rc1/8～Rc3/8

空氣調質組合油霧器L系列

儲存容量	滴下流量	配管連接口徑
25～ 160cc	最少5～ 10 l/min	Rc1/8～Rc1/2

空氣調質組合殘壓排氣閥300V系列

構成	處理空氣量	配管連接口徑
FRL	100～2000 l/min	Rc1/8～Rc1/2

小型FR 過濾器調壓閥FRN系列

●輕量小型的調壓過濾器
●使用了快速接頭，讓裝置的配管變地更加容易

過濾精度壓力設定	處理空氣量	配管連接口徑
5μm 0.05～ 0.7MPa	0～150 l/min	4mm.6mm接頭

小型FR 過濾器FN系列

●輕量小型的過濾器
●使用了快速接頭，讓裝置的配管變地更加容易

過濾精度	處理空氣量	配管連接口徑
5μm	10～40 l/min	4mm.6mm接頭

小型FR 真空用過濾器VFN系列

●輕量小型的真空用過濾器
●使用了快速接頭，讓裝置的配管變地更加容易

過濾精度	處理空氣量	配管連接口徑
5μm	10～40 l/min	4mm.6mm接頭

小型FR 調壓閥RN系列

●輕量小型的調壓閥
●使用了快速接頭，讓裝置的配管變地更加容易

壓力設定 MPa	處理空氣量	配管連接口徑
0.05～0.7	0～ 150 l/min	4mm.6mm接頭

小型FR 調壓閥MRN系列

●輕量小型的調壓匯流組

壓力設定 MPa	處理空氣量	配管連接口徑
0.05～0.7	0～ 150 l/min	IN.1/8.OUT4mm 6mm接頭

含快速接頭式調壓閥RTS系列

●便利的快速接頭內藏型的精巧設計
●帶有便于進行壓力確認的壓力計

壓力設定 MPa	處理空氣量	配管連接口徑
0～0.8	0～ 200 l/min	4～8mm接頭

FRL (主管路～使用端用)

冷凝過濾器

●采用了高性能的分離濾芯，流量與流速發(fā)生變化時仍可保證一定的99%的分離水準
●無需更換進行濾芯的交換

分離率	處理空氣量	配管連接口徑
99％以上	300～1500 l/min	Rc1/4～Rc1

大型FRL FRL組合CN系列

●大流量時使用的空氣過濾閥、調壓閥、給油器的組合件

構成	處理空氣量	配管連接口徑
FRL	最大2000～ 6000 l/min	Rc3/4～Rc1

大型FRL 空氣過濾器FN系列

過濾精度	處理空氣量	配管連接口徑
5.40μm	最大3000～ 6000 l/min	Rc3/4.Rc1

大型FRL 精密過濾器MF系列

過濾精度	處理空氣量	配管連接口徑
0.3μm	最大4000～ 6000 l/min	Rc1/2.Rc1

大型FRL 超精密過濾器MMF系列

過濾精度	處理空氣量	配管連接口徑
0.01μm	最大3000～ 5000 l/min	Rc1/2.Rc1

大型FRL 調壓閥RN系列

壓力設定 MPa	處理空氣量	配管連接口徑
0.05～0.83	最大1500～ 8000 l/min	Rc3/4.Rc1

大型FRL 油霧器LN系列

儲存容量	滴下流量	配管連接口徑
160cc	最少14～ 185 l/min	Rc3/4.Rc1

FRL (主管路)

干線過濾器KLF系列

●安裝在空氣干燥器前后及超精密過濾器之前，用以延長空氣干燥器和超精密過濾器的使用壽命。

過濾精度	處理空氣量	配管連接口徑
3μm	0.33～1.65m/min	Rc3/8.Rc1/2 Rc3/4

超精密過濾器KMF系列

●安裝在忌避油的生產線的入口處及空氣干燥器的之后，以去除油分及其它微粒。

過濾精度	處理空氣量	配管連接口徑
0.3μm	0.33～1.65m/min	Rc3/8.Rc1/2 Rc3/4

活性炭過濾器KKF系列

●在前后均設有超精過濾器時，可去除蒸汽油分等臭味雜質，保持空氣的清潔

殘油量	處理空氣量	配管連接口徑
0.1ppm	1.0.1.65m/min	Rc1/2.Rc3/4

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